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微位移技术主要应用在哪些方面?

2017-03-23 17:21:30 来源:91代工网 浏览:176
内容提要:近年来,随着微电子技术、宇航以及生物工程学科的发展,对于精密
近年来,随着微电子技术、宇航以及生物工程学科的发展,对于精密机械的精度要求越来越高,要求精密机械和检测设备要具有微米甚至纳米的精度。微位移技术是精密机械和仪器实现高精度的关键技术之一。近年来,也得到了迅速的发展,广泛的被应用于各个领域成为了现在机械工业的基础。对于微位移技术,智造360介绍,微位移技术包括微位移机构、检测装置和控制系统三个部分组成。微位移机构是指行程小、灵敏度和精度高的机构。微位移机构由微位移驱动器和微动工作台组成。根据微位移驱动器和微动工作台导轨形式,可以分为五类:(1) 柔性支承:压电晶体或电致伸缩微位移器驱动。(2) 滚动导轨:压电晶体或电致伸缩微位移器驱动。(3) 平行弹性导轨:电磁、压电或者机械式驱动。(4) 滑动导轨:机械式或压电式驱动。(5) 气浮导轨,伺服电动机或直线电动机驱动。微位移系统在精密机械和仪器中主要是用于提高运动的灵敏度和精度。随着科学技术的进步,对设备精度要求越来越高,微位移技术就应用越来越广泛。根据目前实际应用的范围来看,大致可以分为三个方面:(1) 精度补偿:精密工作台是高精度一起和设备的核心,它的性能的优劣直接影响整机的精度。在当今社会,效率问题成为衡量设备先进性重要指标之一,因此,现今的设备和仪器中的运动部件,向高速度、高精度发展,以提高设备的工作效率。但是,高速度带来运动惯量较大,很难实现高精度。为了让高速度和高精度这对矛盾能够得以解决,通常采用粗、精结合的方法来实现。在粗动工作台上加一个精动工作台,粗动工作台实现高速度、大行程,精动工作台实现微动,完成精密定位中的补偿。以达到预期的精度。这个精动工作台就是有微位移系统来实现的。(2) 微进给:在精密加工中,为了提高加工质量,往往采用微量进给运动,例如,超光滑表面的精加工,要求每次进给量为微米级,这是一般机械所难于达到的。用微位移机构很容易实现。(3) 微调:微调是精密机械中经常遇到的难题,实现高精度、准确可靠的微调,是保证机构调整到正确位置的关键,特别是动态实时调整,难度很大。磁头与磁盘浮动间隙的实时调整,由于磁盘在转动中,主轴晃动等因素造成磁头与磁盘之间的间隙变化,而造成获取的信息不真实;另外一种是照相物镜和照相干版之间的间隙调整,由于干版本身表面不平,随着工作台运动中,造成物镜离焦,而失去清洗的图像等等。为了解决微调的问题只有采用微位移系统实现。

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